Dezvoltăm și extindem o linie pilot de procesare, funcționalizare și integrare a materialelor semiconductoare avansate în dispozitive de test, la standarde cerute de industrie. Prin acest lanț complet de cercetare-dezvoltare, sprijinim companiile naționale și internaționale să accelereze inovarea, cu precizie ridicată și într-un timp compatibil cu transferul tehnologic.
Noua infrastructură va include echipamente de ultimă generație, care vor completa și diversifica capabilitățile existente:
- Două sisteme de depunere laser pulsată (PLD): pentru procesarea materialelor semiconductoare complexe, inclusiv a celor cu elemente volatile sau, alternativ, a materialelor ecologice fără conținut toxic, în conformitate cu obiectivele Green Deal.
- Sursă de plasmă liniară: destinată funcționalizării materialelor prin fluxuri mari de ioni slab energetici, pentru îmbunătățirea aderenței și densificării filmelor subțiri.
- Sistem de tratament termic în atmosferă și presiune controlată: pentru tehnologii bottom-up bazate pe materiale semiconductoare sensibile.
- Echipament de testare pentru senzori și actuatori cu interferometru laser cu braț dublu: pentru evaluarea performanței și integrarea materialelor pe substraturi flexibile sau pe plachete de până la 200 mm.
Prin integrarea acestor sisteme, linia pilot va permite dezvoltarea de noi tehnologii bazate pe tehnici laser și plasmă, dar și acumularea de know-how pentru obținerea de filme subțiri la standarde industriale. Totodată, va facilita prototiparea și testarea în aplicații precum senzori, actuatori sau electronică pe suport flexibil, în completarea tehnologiilor deja existente în cadrul departamentelor C400 Fotoplasmat și PTJ (pulverizare magnetron, evaporare cu fascicul de electroni, litografie, testare senzori).
Această infrastructură modernă va deveni un catalizator pentru colaborări între cercetare și industrie, accelerând transformarea ideilor în soluții tehnologice funcționale.